在電子氣體產(chǎn)業(yè)方面,全球半導(dǎo)體用電子氣體市場(chǎng)規(guī)模2014年和2015年市場(chǎng)規(guī)模分別達(dá)到35.61億美元和36.75億美元,我國(guó)半導(dǎo)體制造用電子氣體2014和2015年分別達(dá)到27.4億元和32.8億元。
在CMP拋光材料產(chǎn)業(yè)方面,化學(xué)機(jī)械拋平坦化(CMP)是集成電路生產(chǎn)工藝的重要組成部分。隨著器件特征尺寸的不斷減小,對(duì)CMP技術(shù)在拋光缺陷,拋光工藝可控性、一致性等方面提出了更高的要求。CMP拋光材料包括淺溝槽隔離、多晶硅、二氧化硅介電層、鎢、銅、阻擋層用拋光液和拋光墊(Pad)和修整盤(pán)等。2014年和2015年全球半導(dǎo)體用CMP拋光材料總體市場(chǎng)需求約為16.78億美元和17.58億美元,我國(guó)市場(chǎng)需求達(dá)到15.3億元和18.2億元。
在靶材產(chǎn)業(yè)方面,濺射靶材作為集成電路芯片及器件制造過(guò)程中重要的配套材料之一,主要用于金屬化工藝中互連線、阻擋層、通孔、背面金屬化層等薄膜的制備。使用的靶材原材料主要有超高純鋁及其合金,銅、鈦、鉭、鎢、鎢鈦合金以及鎳及合金,鉆、金、銀、鉑及合金等。2014年和2015年全球半導(dǎo)體制造用靶材市場(chǎng)需求達(dá)到6.5億美元和6.8億美元;國(guó)內(nèi)靶材市場(chǎng)分別達(dá)到6.41億元和6.91億元。
在《2017-2021年中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈深度調(diào)研及投資前景預(yù)測(cè)報(bào)告》指出,2015年全球半導(dǎo)體材料市場(chǎng)產(chǎn)值為434億美元,其中,臺(tái)灣為94.1億美元,連續(xù)6年蟬聯(lián)最大市場(chǎng);而南韓、中國(guó)大陸、北美與歐洲都有微幅成長(zhǎng),日本則出現(xiàn)6.28%的衰退幅度。總的晶圓制造材料和封裝材料分別為241億美元和193億美元,分別比2014年衰退1%與2%。